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불소수지 바디를 적용해 약액 및 초순수 라인에서도 안정적으로 사용할 수 있는 임펠러식 유량계로,
금속 이온 용출을 최소화하여 반도체·화학 공정에 적합한 약액 대응형 모델입니다.


컴팩트한 외관 설계의 임펠러식 유량계
금속 이온이나 유기 탄소 등의 용출이 없는 고내구성 바디.

유량 측정 원리
유체의 흐름에 따라 회전하는 임펠러(프로펠러)에 자석이 탑재되어 있으며, 이 자석의 변화를 홀 소자가 감지합니다.
자기 변화량을 통해 유량이 계산되며, 유량 표시와 동시에 각종 신호 출력이 가능합니다.

● 경량 설계로 배관에 가해지는 부담을 경감
● 다양한 액체에 대응하므로, 초순수 배관·약액 배관에 최적
● 대응 기종: FS-S / FS-AR / FS-N


접속부 불소수지 타입도 있습니다.
자세한 사항은 문의 주십시오.


형식FS-3□-T-□-□FS-10□-T-□-□FS-30□-T-□-□
유량 범위0.5~3L/min1.5~10L/min5~30L/min
사용유체각종 액체
최고 사용압력0.49MPa
유체 온도0~90℃ (무동결시)
주위 온도0~40℃ (동결, 결로 없을 것)
접액부 재질불소수지, 세라믹
접속부 재질SUS / BsBM(Ni도금) / 불소수지
접속 구경Rc 3/8 or Rc 1/2 or Φ10X12mm
※Φ10X12mm 는 재질이 불소수지 (로웰사의 불소수지 피팅 20시리즈)
씰용 오링불소고무
오리피스 경Φ5Φ7Φ10
흐름 방향양방향
고정 방향자유
중량약 380g
보호 구조전자회로의 방적

  • 각 센서형식에서 ‘바디재질’을 ‘T’로 선택하면 불소수지 바디 제품이 됩니다.

본 제품은 임펠러식 유량계로서 냉각수, 공업용수, 순환수 라인의 유량 측정에 적합하며,
반도체 장비, 디스플레이 장비, 자동화 설비 등 다양한 산업 분야에 적용되고 있습니다.


FS-SC

디스플레이형 표준타입

FS-AR

표시기 분리형 코스트다운타입

FS-N

유량 펄스 코스트다운 타입

FS 고온대응 시리즈

~150℃ 고온대응

FS 약액대응 시리즈

불소수지 바디