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불소수지(Fluoropolymer) 바디를 적용하여 약액 및 초순수 환경에서도 안정적으로 사용할 수 있는
임펠러식 유량계입니다.
금속 이온 용출을 최소화하여 반도체, 디스플레이, 화학 공정 등 고청정 환경에 최적화된 유량 센서입니다.


✔ 불소수지 바디 적용

  • 금속 이온 및 유기물 용출 최소화

✔ 우수한 내화학성

  • 다양한 약액 및 초순수 환경 대응

✔ 컴팩트 설계

  • 장비 내부 및 배관에 설치 용이

✔ 경량 구조

  • 배관 하중 감소 및 설치 안정성 향상

✔ 고청정 공정 대응

  • 반도체 및 디스플레이 공정에 적합
  • 초순수 및 약액 라인에 최적화

대응 모델

  • FS-SC (디스플레이형 표준 타입)
  • FS-AR (릴레이 출력형)
  • FS-N (펄스 출력형)

적용 분야

다양한 산업 환경에서 안정적으로 사용할 수 있습니다.

  • 반도체 및 디스플레이 장비
  • 냉각수 순환 시스템
  • 공업용수 관리 설비
  • 자동화 생산 라인
  • 열처리 및 온도 제어 장비

특히, 정밀한 유량 관리가 중요한 공정에서 안정적인 성능을 제공합니다.



접속부 불소수지 타입도 있습니다.
자세한 사항은 문의 주십시오.


형식FS-3□-T-□-□FS-10□-T-□-□FS-30□-T-□-□
유량 범위0.5~3L/min1.5~10L/min5~30L/min
사용유체각종 액체
최고 사용압력0.49MPa
유체 온도0~90℃ (무동결시)
주위 온도0~40℃ (동결, 결로 없을 것)
접액부 재질불소수지, 세라믹
접속부 재질SUS / BsBM(Ni도금) / 불소수지
접속 구경Rc 3/8 or Rc 1/2 or Φ10X12mm
※Φ10X12mm 는 재질이 불소수지 (로웰사의 불소수지 피팅 20시리즈)
씰용 오링불소고무
오리피스 경Φ5Φ7Φ10
흐름 방향양방향
고정 방향자유
중량약 380g
보호 구조전자회로의 방적

  • 각 센서형식에서 ‘바디재질’을 ‘T’로 선택하면 불소수지 바디 제품이 됩니다.

본 제품은 임펠러식 유량계로서 냉각수, 공업용수, 순환수 라인의 유량 측정에 적합하며,
반도체 장비, 디스플레이 장비, 자동화 설비 등 다양한 산업 분야에 적용되고 있습니다.


FS-SC

디스플레이형 표준타입

FS-AR

표시기 분리형 코스트다운타입

FS-N

유량 펄스 코스트다운 타입

FS 고온대응 시리즈

~150℃ 고온대응

FS 약액대응 시리즈

불소수지 바디