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약액 대응 불소수지 바디 유량계 – 3/10/30L/min
약액 유량계 | 불소수지 바디 FS 시리즈 (초순수·케미컬 대응 3~30L/min)

약액대응 유량계 FS 시리즈는,
불소수지(Fluoropolymer) 바디를 적용하여 약액 및 초순수 환경에서도 안정적으로 사용할 수 있는
임펠러식 유량계입니다.
금속 이온 용출을 최소화하여 반도체, 디스플레이, 화학 공정 등 고청정 환경에 최적화된 유량 센서입니다.
임펠러식 유량계란?
임펠러식 유량계(Impeller Flow Meter)는 유체의 흐름에 의해 회전하는 임펠러의 회전수를
센서로 감지하여 유량을 측정하는 방식의 유량계입니다.
냉각수, 공업용수, 순환수 라인의 유량 모니터링에 많이 사용되는 산업용 유량 센서입니다.
약액대응 유량계 FS 시리즈 주요 특징
✔ 불소수지 바디 적용
- 금속 이온 및 유기물 용출 최소화
✔ 우수한 내화학성
- 다양한 약액 및 초순수 환경 대응
✔ 컴팩트 설계
- 장비 내부 및 배관에 설치 용이
✔ 경량 구조
- 배관 하중 감소 및 설치 안정성 향상
✔ 고청정 공정 대응
- 반도체 및 디스플레이 공정에 적합
- 초순수 및 약액 라인에 최적화
대응 모델
- FS-SC (디스플레이형 표준 타입)
- FS-AR (릴레이 출력형)
- FS-N (펄스 출력형)
적용 분야
다양한 산업 환경에서 안정적으로 사용할 수 있습니다.
- 반도체 및 디스플레이 장비
- 냉각수 순환 시스템
- 공업용수 관리 설비
- 자동화 생산 라인
- 열처리 및 온도 제어 장비
특히, 정밀한 유량 관리가 중요한 공정에서 안정적인 성능을 제공합니다.
약액 유량계 FS 시리즈는 불소수지 바디와 세라믹 접액 구조를 통해 금속 이온 용출을 최소화하면서 안정적인 유량 측정이 가능합니다.
또한 경량 설계로 배관 부담을 줄이고 고청정 공정에서도 신뢰성 높은 운용이 가능한 유량 센서입니다.
옵션 – 접속부 약액대응

접속부 불소수지 타입도 있습니다.
자세한 사항은 문의 주십시오.
약액 대응 불소수지 바디 유량계 사양
사양표
| 형식 | FS-3□-T-□-□ | FS-10□-T-□-□ | FS-30□-T-□-□ |
|---|---|---|---|
| 유량 범위 | 0.5~3L/min | 1.5~10L/min | 5~30L/min |
| 사용유체 | 각종 액체 | ||
| 최고 사용압력 | 0.49MPa | ||
| 유체 온도 | 0~90℃ (무동결시) | ||
| 주위 온도 | 0~40℃ (동결, 결로 없을 것) | ||
| 접액부 재질 | 불소수지, 세라믹 | ||
| 접속부 재질 | SUS / BsBM(Ni도금) / 불소수지 | ||
| 접속 구경 | Rc 3/8 or Rc 1/2 or Φ10X12mm ※Φ10X12mm 는 재질이 불소수지 (로웰사의 불소수지 피팅 20시리즈) |
||
| 씰용 오링 | 불소고무 | ||
| 오리피스 경 | Φ5 | Φ7 | Φ10 |
| 흐름 방향 | 양방향 | ||
| 고정 방향 | 자유 | ||
| 중량 | 약 380g | ||
| 보호 구조 | 전자회로의 방적 | ||
약액 대응 불소수지 바디 유량계 주문형식
주문형식

- 각 센서형식에서 ‘바디재질’을 ‘T’로 선택하면 불소수지 바디 제품이 됩니다.
“
본 제품은 임펠러식 유량계로서 냉각수, 공업용수, 순환수 라인의 유량 측정에 적합하며,
반도체 장비, 디스플레이 장비, 자동화 설비 등 다양한 산업 분야에 적용되고 있습니다.
유량계 선정 및 적용 상담은 씨엔케이오토매이션(031-682-0161)으로 문의해 주시기 바랍니다.
임펠러식 유량계 라인업!
▶ 사진을 클릭하면 해당 페이지로 링크됩니다
FS-SC
디스플레이형 표준타입
FS-AR
표시기 분리형 코스트다운타입
FS-N
유량 펄스 코스트다운 타입
FS 고온대응 시리즈
~150℃ 고온대응
FS 약액대응 시리즈
불소수지 바디





