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초순수·약액 대응 칼만 와류식
초음파 유량계 USL-20L | PFA 초순수·약액 대응 유량계


USL-20L은,
초순수 및 화학 약액 라인에 적용 가능한 PFA 재질의 초음파 유량계입니다.
초음파 방식으로 유량을 안정적으로 측정할 수 있으며, 반도체 제조 설비, 세정 장비, 화학 공정 등
고순도 유체 환경에 적합한 산업용 유량계입니다.
내화학성이 우수한 PFA 재질을 적용하여 약액 및 초순수 라인에서도 안정적으로 사용할 수 있습니다.
초음파 유량계란?
초음파 유량계(Ultrasonic Flow Meter)는
초음파 신호를 이용하여 유체의 흐름을 측정하는 방식의 산업용 유량계입니다.
기계적 구동부가 없는 칼만 와류식으로 마모가 적고 유지보수가 용이하며,
초순수 및 화학 약액과 같은 고순도 유체 측정에 적합합니다.
또한 외부 진동의 영향을 적게 받아 안정적인 유량 모니터링이 가능합니다.
USL 초음파유량계 주요 특징
✔ PFA 재질 유량계의 필요성
일반 금속 유량계는 강산, 강알칼리 등 화학 약액에 노출될 경우 부식 문제가 발생할 수 있습니다.
USL-20L은 접액부 전체를 PFA 재질로 구성하여 부식 위험을 최소화하고, 초순수 및 다양한 화학 유체에서도 안정적인 사용이 가능합니다.
- 내화학성 우수
- 오염 발생 최소화
- 고순도 유지 가능
- 반도체 공정 대응
✔ 초음파 유량계의 특징
기계적 구동부가 없는 칼만 와류식으로 유량을 측정하기 때문에 마모가 적고 유지보수가 용이합니다.
또한 외부 진동의 영향을 최소화하여 안정적인 계측이 가능합니다.
- 무마모 구조
- 장기 안정성
- 유지보수 최소화
✔ 적용 분야
약액 대응 초음파 유량계 USL-20L은 다음과 같은 산업에 적합합니다.
- 초순수 공급 라인
- 화학 약액 배관 시스템
- 반도체 제조 설비
- 웨이퍼 세정 장비
- 디스플레이 제조 공정
- 귀금속 처리 설비
- 약품 공급 장치
- 화학 공정 설비
- 고순도 유체 모니터링
- PFA 배관 라인
- 자동화 설비 내부 배관
- 협소 공간 유량 측정
✔ 이런 고객님께 추천 드립니다
- 반도체 제조 설비
- 화학 공정 설비
- 귀금속 처리 설비
- 세정 장비
- 초순수 공급 라인
FAQ
Q. USL-20L은 어떤 유체에 사용할 수 있나요?
초순수, 화학 약액, 공업용수 등 PFA를 부식시키지 않는 유체에 사용할 수 있습니다.
Q. 초음파 방식의 장점은 무엇인가요?
비접촉 방식으로 마모가 적고 유지보수가 거의 필요하지 않으며 안정적인 유량 측정이 가능합니다.
Q. 어떤 산업에 사용되나요?
반도체 제조 설비, 화학 공정, 세정 장비, 귀금속 처리 설비 등 고순도 유체가 사용되는 산업에 적용됩니다.
Q. 초순수 라인에도 사용할 수 있나요?
PFA 재질을 적용하여 오염 발생을 최소화할 수 있어 초순수 라인에 적합합니다.
유량 표시기와 함께 사용 가능
DAM
DPM


- 아날로그 출력시 사용
- 서로 떨어진 장소에서도 유량 확인이 가능
- 2대의 유량센서를 하나의 디스플레이로 확인 가능
- 아날로그 입력으로 입력신호의 취급이 용이하고 범용성이 높음
- 펄스 출력시 사용
- 서로 떨어진 장소에서도 유량 확인이 가능
- 2대의 유량센서를 하나의 디스플레이로 확인 가능
- 아날로그 신호로 변환할 필요가 없어 불필요한 설계생략 → 코스트다운
고객 사용 후기
약액 대응이면서 합리적인 가격
| 고객명 | 모 귀금속 메이커 |
| 사업 내용 | 귀금속 원재료(백금, 금, 은 외) 및 각종 산업용 귀금속 제품의 제조, 판매, 수출입 및 귀금속 회수, 정제 |
| 도입전 과제 | 금속을 녹이는 설비에서 강 알카리성 약액을 사용하고 있어, 약액 대응이 되는 유량계를 찾고 있었습니다. 고가 상품은 있었지만 합리적인 가격의 유량계가 없어 고민이었습니다. |
| 해결책 | 불소수지 바디의 카르만와류식 유량계를 찾아봤더니 2개사 정도 검색되었습니다. 가격적인 메리트 때문에 리갈조인트사를 선택했습니다. 현재 설비에서 활약 중입니다. |
초음파 유량계 USL-20L
| 형식 | USL-20L | |
|---|---|---|
| 유량 | 2~20L/min | |
| 유체 온도 | 0~100℃ (동결이나 끓어오르지 않을 것) | |
| 주위 온도 | 0~60℃ | |
| 아날로그 출력 | 0~10V or 1~5V or 4~20mA | |
| 펄스 출력 | 오픈콜렉터 (MAX DC40V / 100mA) | |
| 표시 방식 | 흐름표시 : 녹색 LED / 전원 표시 : 주황 LED | |
| 최고 사용압력 | 1MPa (10kgf / ㎠ 미만) | |
| 흐르는 방향 | 지정 방향 | |
| 전원 공급 | DC12V ~ DC24V | |
| 소비 전류 | MAX 40mA | |
| (단, 1~5V, 4~20mA 출력시 MAX 60mA) | 측온기능 (옵션) 사용시 Max 35mA (단, 4~20mA 전류출력시 Max 75mA) | |
| 정밀도 | FS±2.0% | |
| 배관 조합 | Φ1/2″ (Φ12.7 X 9.53) | |
| 접액부 재질 | PFA | |
| 장착 방향 | 자유 | |
| 사용 유체 | 순수, 약액(※PFA를 부식시키지 않는 유체일 것) | |
| 공업용수, 물 (기포 없을 것) | 자유 | |
| 중량 | 약 72g | |
| 케이블 | AWM20276 4심 / 0.2㎟ / 500mm | |
USL-20L 치수도
구성

USL-20L 배선도

USL-20L 주문 형식

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KSL-5L/10L/30L/50L
디스플레이형 표준타입
KSL-5LN/10LN/30LN/50N
표시기 분리형 코스트다운타입
KSL-80L/160L
대용량, 대유량 타입
PSL-5L/30L
기본에 충실한 컴팩트형
KDT-5L/20L
배관 일체, 초소형
DKL-5L/30L
배관 일체, 초소형
USL-20L
순수, 약액대응, 초음파 유량계






