#칼만와류식 #볼텍스 #유량계 #케미컬용

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MFR 시리즈 – PFA 화학약품용 유량계,

반도체 및 FPD 제조장비에 적합한 PFA 케미컬 유량계입니다.
약액, 순수(DI Water), 화학약품의 유량과 온도를 동시에 측정하여 액체 온도 변화에 따른 측정 오차를 최소화합니다.

MFR 유량계의 주요 특징

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✔ 유량과 온도 동시 측정 가능한 케미컬 유량계

• 칼만와류(Kármán Vortex) 방식으로 유량을 측정하며, 내장 온도센서를 통해 유체 온도를 동시에 측정합니다.
• 온도 보정 기능이 적용되어 액체 온도 변화에 따른 유량 오차를 줄여 안정적인 측정이 가능합니다.

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✔ 다양한 화학약품 대응

접액부는 New PFA(O-ringless) 구조를 적용하여 약 80여 종 이상의 화학약품에 대응합니다.

• 산(Acid)
• 알칼리(Alkali)
• 순수(DI Water)
• 각종 화학약품

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✔ 컴팩트한 설계

• 장비 내부의 제한된 공간에도 설치 가능한 소형 설계입니다.

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✔ 넓은 측정 범위

• 0.3~2.5L/min부터 최대 10~100L/min까지 다양한 유량 범위를 지원합니다.

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✔ MFR는 이런 환경에서 사용됩니다

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이런 고민이 있으신가요?

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MFR 시리즈는 이러한 문제를 해결하기 위해 개발된 온도 보정형 PFA 유량계입니다.

MFR 유량계 특징 동영상으로 확인하기

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MFR 사양표

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사양표

규격			MFR-301	MFR-302	MFR-303	MFR-304	MFR-305
유량 범위			0.3~2.5L/min	0.4~4.0L/min	2.0~16L/min	5.0~50L/min	10~100L/min
측정 유체			공업용수, 물, 고온수
정밀도			±2% F.S.(25°C)				±3% F.S.(25°C)
재현성			±0.5% F.S.
유체 온도			0~90°C (동결 혹은 끓지 않을 것)
온도 정밀도			±2°C ±0.15×ΔT°C (ΔT: 주변 온도 − 유체 온도)
정밀도 보장온도			유체 온도 : 15~60°C
최대 작동압력			1MPa(G) @25°C			0.75MPa (G) @25°C	0.65MPa (G) @25°C
허용 주변 온도 및 주변 습도			0~50°C (동결 없을 것) 습도(습도) 95% 이하 (결로 없을 것)
저장 온도			−10~70°C (동결 없을 것)
보호 구조물			IP65와 동등한 (방적, 방진 사양)
접액부 재질			NEW PFA
신호 출력	유량 출력	디스플레이 무
		디스플레이 유	전류 4-20mA, 허용 부하 저항: 24VDC 입력에서 250~500Ω, 12VDC 입력 또는 펄스 출력에서 250Ω 이하 (1kHz@F.S. 듀티 50% NPN 오픈 컬렉터 출력: 최대 DC30V/80mA) 총 출력: 펄스 출력
	온도 출력 (통수시에만)	디스플레이 무	1-5VDC (0~100°C) 외부 부하 저항 250kΩ 이상
		디스플레이 유	전류: 4-20mA (0~100°C), 허용 부하 저항: 24VDC 입력에서 250~500Ω, 12VDC 입력 시 250Ω 이하
	경보 신호		알람 접점: 2점, NPN 오픈 컬렉터 출력 최대 DC30V/80mA (디스플레이 전용)
디지털 통신			RS485 (MODBUS 프로토콜, RTU 모드) (디스플레이 모드 전용)
전원 전압			12~24VDC ±10% 전류 소비 (디스플레이 무: 80mA 이하, 디스플레이 유: 140mA 이하)
케이블 길이			3M 단말처리 완료 (여분의 납땜 포함)
중량		디스플레이 무	160g 이하			175g 이하	200g 이하
		디스플레이 유	160g 이하			180g 이하	205g 이하

MFR 대응 약액 일람

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구성 및 사이즈

MFR 전기배선

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MFR 주문형식

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유량계 선정·적용은 씨엔케이오토매이션에 문의해 주세요.

칼만 와류식 유량계 라인업!

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