・복수의(최대10련) 유량계를 탑재하고, 밸브기능과 집중배관을 일체화시킨 집적(集積)유니트
・유량조절밸브가 측면이 아닌 상부에 있어(유량계 표시면) 사용자 편의성이 우수한 유량계집합배관
・반도체장치의 국제화에 대응하여 개발한 제품
・집합배관 '프리포트매니폴드'와 조합하여 IN측 및 OUT측 배관회로에 대하여 공간을 절감하여 조립하는 것이 가능
・매니폴드본체에 추가하여 접속하는 배관라인의 설계제작도 대응 가능→배관 ASSY
유량계의 표시를 보면서 유량조절이 가능함. 이 것이 포인트!! | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
아래와 같이 아답터/밸브/플러그 등의 조합으로、다양한 유로패턴의 설계가 가능합니다.
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